“完全能够满足。”王立新说，“我们的一期工程明年6月建成后，月产能达到3吨。这个规模完全可以满足中微前期的研发需求。等他们进入量产阶段，我们也能及时完成产能拓展。”

“产业配套也要同步规划。”市招商局局长高制鹏说，“目前已有十几家上下游企业表示要跟进。包括前驱体材料、电子特气、靶材等，都是光刻胶产业必需的配套。初步提示，这些项目总投资将超过100亿。”

李一凡在白板上写下三个关键词：“技术好、产业定位、人才支撑。现在重点说说具体的推进计划。”

“先说技术好。”威廉姆斯博士说，“我们28nm光刻机的研发分三个阶段：第一阶段是光学系统突破，这是核心；第二阶段是整机集成，需要配合光刻胶进行工艺优化；第三阶段是量产验证，这就需要产业链的配合了。”

“工艺配合中微的节奏。”王立新补充道，“光刻胶的研发也分三步：首先完成基础配方，确保28nm制造工艺的分辨率要求；然后进行优化，均匀提高成膜性和稳定性；最后是良率提升，这需要大量的数据实践。”

“这个思路很清晰。”李一凡说，“两个团队要紧密配合，互相反馈。得到了省里500亿的支持，我们在技术创新上鼓舞信心，但也要脚踏实地。”

市科技局局长刘青松插话道：“为了支持和谐创新，我们准备成立一个联合实验室。由威廉姆斯博士和王总共同担任主任，重点攻克关28nm制程的关键技术。”

“联合实验室很有必要。”尹志绕说，“特别是在芯片安全方面，需要从光刻机、光刻胶两个层面同步设计。这也是我们独特的优势。”

正说完成后，中微公司的技术团队带来了最新进展：“光学系统的初步设计已经，关键指标达到预期。下一步将进入样机测试阶段。我们计划在明年二季度完成首台工程机的建造。”

这一消息让会议室的气氛更加热烈。工程机是量产前的关键一步，如果能按期，将为整个项目打下坚实的基础。

“人才团队怎么配置？”李一凡问道。