“这方面我们考虑周全。”威廉姆斯说,“所有的核心算法都是自主开发,关键模块全部采用国产芯片。特别是在安全防护方面,我们采用了物理隔离的方案。”
就在评审会进行时,南大光电传来好消息:新一代光刻胶在中试生产中取得重要突破,各项指标均达到预期,良品率超过90%。
“这个突破来得时候。”尹志绕说,“意味着在材料和设备方面我们都具备了产业化的基础。”
“我建议成立一个联合工作组。”专家组组长说,“由中微和南大光电的核心团队组成,专门解决工程机阶段的配合问题。这样可以进一步发挥良好效果。”
“这个建议很好。”李一凡说,“省里给了我们500亿的支持,就是要推动这种深度合作。两个团队要真正实现技术共享、资源互补。”
“我们已经准备好了。”威廉姆斯说,“计划从两边各抽调15名骨干工程师,组成联合攻关小组。重点解决三个问题:光学系统的稳定性、工艺参数的匹配度、以及量环境产下的良率控制。”
“人员已经选好了。”王立新补充道,“我们选了几位在日本工作的工程师,他们在工艺整合方面经验丰富。同时还补充了试线抽调了生产骨干,确保实验室成果能够顺利转化。”
专家组的另一位成员提问:“工程机的时间节点能否保证?”
“按照目前完成的细节,明年一季度末就可以出机。”威廉姆斯说,“关键部件都已经完全加工和测试,剩下的主要是系统集成和工艺优化。这些工作有南大光电配合,会提高效率。”
“工艺优化很关键。”专家组组长说,“建议多进行极限测试,特别是在高温、振动等极限条件下的表现。这些数据对后续量产很重要。”
“同意。”尹志绕说,“我们已经建立了专门的测试实验室,配备了最先进的分析设备。可以模拟各种工况下的运行状态。”
就在今年,市科技局局长刘青松带来了一个好消息:“省里决定追加20亿专项资金,支持实验室联合建设。重点用于购置投资测试设备和引进高端人才。”
“人才引进要抓紧。”专家组组长表示,“现在全球的光刻机人才非常紧缺,要提前布局。特别是系统集成方面的专家,更是一时难求。”