浸液系统,听起来是一个普通得再也不能普通的名词,但在光刻系统里是一个新名词。你可以认为它很简单,但要弄清楚这个系统,却需要很长一段时间。
这个浸液系统不是那么好研究的,牵涉问道控制、气泡去除、液体选择等等一系列的问题,去离子水只是其中最简单的一种。
等同行开始研究什么是浸液系统时,重世研究院新一轮研究又紧锣密鼓地开展起来,都是针对波长50n左右的。
这不是一个简单的升级换代,可能会出现一些划时代的成果。
在这次项目讨论的最终会议上,面对三十七个项目负责人,龙建华提出,“芯片生产大的方面,我们的光刻和蚀刻已经处于世界顶尖水平。即使如此,光刻工序中,在硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘等工序还只能算作一般水平,有的甚至还落后于同行;在其它工序上,也只有封装这一道工序处于世界前茅。”
“有人说我自不量力,想把芯片生产设备全部自己开发,力抗整个世界。我们要知道,我们的研究院就是世界级的,这么大一个研究院,半导体研究方面的人才就超过一万,世界其它国家在研的也只有这个数,为何不能力抗全世界?”
“这次突破,对我们超越或追上同行是一个很好的机会。我们现在有157n,遇到了不少问题,这是我们先知先觉的,是优势。大家都在犹豫的时候,我们方向明确,一鼓作气追上去。追上他们,超越他们。”
根据半导体事业部和销售总公司商议的结果,两年内不出售这样的光刻机,使得自己保持一段时间的优势;虽然157n只是一个过渡性的,但这个设想是重世研究院研究出来的,并没对外公布技术线路,加上已经申报大量专利,别人要想研制出这样的光刻机,也至少需要两年。
有两年时间,可以做很多事情,甚至可能会出现50n的芯片。
对芯片的生产设备,龙建华只“知道”一些节点,比如浸液系统,比如下一步在50n……令他郁闷的是,人家筠研在试验出157n后,马上断言下一步就是这个数。
外行就是外行,真正的专家就是真正的专家,死记硬背总是比不上人家的理解与推理……
有157n芯片壮腰,重世集团宣布对家电产品进行升级,自动化程度更高,使用更方便,引发各种同行大为紧张。
有的是重世芯片的老顾客,马上下单订购这种芯片,以求不要被重世落下;这种单子,马上被重世收了。这种订单,是增加设备数量就可以解决的事情,多多益善。
有的发来订单,要求购买这种设备。对这样的订单,得到的答复是,要两年以后才能交货。自己要优先使用,要打一个时间差,万一被同行偷偷地研究,把那层纸捅破就很不好了,要让他们经受那层纸的折磨……